针对真空设备大尺寸高频率开关阀，我们有二种解决方案可供客户选择，目前同类产品已在各种设备上稳定使用。
1. 经济型，橡胶密封，总体漏率（Pa.L/s）<1.0* 10 -7，最大尺寸DN700；动作寿命可达10万次。
2. 高性能结构，高分子聚四氟乙烯密封，总体漏率（Pa.L/s）<1.0* 10 -9，最大尺寸DN900，现有设备认证，动作寿命超过50万次